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半导体材料

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硅片
光刻胶
衬底
显影液
特殊材料

半导体材料 — 硅片

  • 产品名称

    测试片、SOI硅片、氧化硅片(国产/进口)、硅片正片(国产/进口)

  • 数据参数

    1.测试片:

    直径:2~12英寸

    测试片是半导体产业中进行设备性能测试、工艺测试所使用的实验片,用来考察各个设备和各段工艺的状态和稳定性。


    2. SOI硅片

    直径2~8英寸   

    器件层厚度最薄可到150nm,埋氧层厚度可到最薄1um

    可根据用户所需器件层、埋氧层、体硅各层材料的参数定制,以及多层SOI的定制。


    3.氧化硅片(国产/进口)

    直径 1~12英寸    

    氧化层厚度:100Å~20um

    氧化硅片是指在硅片表面存在一层氧化层,氧化层的厚度根据用户需求而定。

    根据产品工艺要求可提供干湿干氧和纯干氧不同工艺氧化片。


    4.硅片正片(国产/进口)

    掺杂类型:N、P  

    晶向:<100>,<110>,<111>    

    直径:2~12英寸

    电阻率:常用各种范围均提供,0.001~10kΩ/cm

    TTV、平整度、弯曲度、翘曲度、直径工差、厚度工差、晶向偏离度等参数严格按照Semi标准执行

联系我们

  • 地址:

    苏州工业园区腾飞创新园11栋207单元

  • 电话:

    18816280980

  • 邮箱:

    szlxfab@163.com

  • 网址:

    www.szlxfab.com

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